光纖光譜儀基于白光干涉測量原理可以測量薄膜厚度

　　光纖光譜儀是光學儀器的主要構成部分。由于其檢測精度高、速度快等優點，已成為光譜測量學中使用的重要測量儀器被廣泛應用于農業、生物、化學、地質、食品安全、色度計算、環境檢測、醫藥衛生、LED檢測、半導體工業、石油化工等領域。

　　微型光纖光譜儀結構緊湊，包括入射狹縫、準直物鏡、光柵、成像反射鏡、濾色鏡片和陣列探測器，還包括數據采集系統和數據處理系統。光信號經入射狹縫投射到準直物鏡上，將發散光變成準平行光反射到光柵上，色散后經成像反射鏡將光譜呈在陣列接收的接收面上，形成光譜譜面。光譜譜面既是單色光的序列排布(有二級衍射光譜影響)，讓整個光譜中任一個微小譜帶照射到相對應探測器的像元上，光纖光譜儀測試液體吸光度，在此將光信號轉換成電子信號后，經模擬數字轉換，A/D放大，最后由電器系統控制終端顯示輸出。從而完成各種光譜信號測量分析。

　　那么光纖光譜儀可以測量薄膜厚度嗎?非常確定的說:可以測量

　　光纖光譜儀基本配置包括包括一個光柵，一個狹縫，和一個探測器。 光譜儀的性能取決于這些部件的精確組合與校準。奧譜天成科技的小型光纖光譜儀可以測量薄膜厚度、以及透過率檢測，熒光的檢測、鏡片檢測。 將被測光耦合到光譜儀中進行光譜分析。由于光纖的方便性，用戶可以非常靈活的搭建光譜采集系統。光纖光譜儀的優勢在于測量系統的模塊化和靈活性。奧譜天成科技的小型光纖光譜儀的測量速度非?？?，可以用于在線分析。目前，隨著光譜行業的快速發展，光纖光譜儀在國內越來越得到認可，其產品性能和質量方面跟國外產品相媲美，國產光纖光譜儀正逐漸替代國外產品。

　　光學的膜厚測量系統基于白光干涉測量原理，可以測量的膜層厚度10nm-50μm，分辨率為1nm。薄膜測量在半導體晶片生長過程中經常被用到，因為等離子體刻蝕和淀積過程需要監控;其它應用如在金屬和玻璃材料基底上鍍透明光學膜層也需要測量膜層厚度。

　　隨著薄膜技術的發展,對薄膜厚度的測量精確度要求越來越高,用光學測量技術測量薄膜的厚度逐漸發展起來。使用白光作為光源,用光纖接收光譜信號,用相應的設備進行光譜分析,從而測量薄膜厚度的方法,是近年來發展起來的新的測厚技術。這種方法不僅可以在線監控薄膜的厚度,而且可以對已生成薄膜的厚度進行精確測量。